■事業内容：
イオン注入装置の開発、製造、販売及びサービス

イオン注入装置の開発、製造、販売及びサービス 日本における半導体製造用イオン注入装置のトップメーカーとして、住友重機械イオンテクノロジー株式会社は、300mmウェハ対応をはじめとする、最先端の半導体デバイスの製造に対応した高電流、中電流、高エネルギーイオン注入装置を提供しています。

また、フラットパネルディスプレイ製造用として、最近その高い性能が注目を集めている低温ポリシリコンTFT―液晶ならびに有機ELディスプレイの製造に最適なイオン注入装置を提供しています。

同社では、1999年より注入サービスを実施しております。 300mmウエハ対応をはじめとする、最先端の半導体デバイス製造に対応した高電流、中電流、高エネルギーイオン注入装置を取り揃え、幅広い注入サービスが可能です。 また、豊富な測定器を揃え、分析評価サービスも行っております。

イオン注入装置は、発生するイオンビームのビーム量及びエネルギーによって、「高エネルギーイオン注入装置」「高電流イオン注入装置」「中電流イオン注入装置」といった3つのカテゴリーに分類されます。
その中でも3機種全てを製造販売しているのは、世界でたったの3社しかなく、国内メーカーでは当社だけとなります。
また、３機種を網羅する装置（SAion）を作れるのは世界で当社のみの技術です。
このように、私たちは、住友の歴史が築いてきた信頼を礎として、先端技術のトップを走る国内顧客の要求に応える形で、顧客の商品戦略を実現するための装置開発を行ってきました。

世界の最先端を切り拓く日本企業の要求は高度であり、それに応えることで、確かな技術を磨き、信頼を築き、「イオン注入技術」の総合トップメーカーとして、そのポジションを揺るぎないものとしています。